|
|
Публикации в базе данных Math-Net.Ru
-
Термостабильный сегнетоэлектрик HfO$_2$ : Al$_2$O$_3$ (10:1) в SOI и SOS гетероструктурах после RTA обработок и утончения кремния окислением
Письма в ЖЭТФ, 121:12 (2025), 945–951
-
Структурные изменения в пленках кремний-на-изоляторе нанометровой толщины при высокотемпературном отжиге
Физика и техника полупроводников, 56:3 (2022), 320–327
-
Диффузия германия из захороненного слоя SiO$_2$ и формирование фазы SiGe
Физика и техника полупроводников, 56:2 (2022), 192–198
-
Диффузия атомов In в пленках SiO$_{2}$, имплантированных ионами As$^{+}$
Физика и техника полупроводников, 55:3 (2021), 217–223
-
Комбинационное рассеяние света в сферических нанокристаллах InSb, ионно-синтезированных в пленках оксида кремния
Физика и техника полупроводников, 53:4 (2019), 502–507
-
Энергия связи пластин кремния и сапфира при повышенных температурах соединения
Физика и техника полупроводников, 53:1 (2019), 65–69
-
Перераспределение атомов отдачи эрбия и кислорода и структура тонких приповерхностных слоев кремния, созданных высокодозной имплантацией аргона через поверхностные пленки Er и SiO$_{2}$
Физика и техника полупроводников, 52:13 (2018), 1589–1596
-
Положительный заряд в КНС-гетероструктурах с межслойным оксидом кремния
Физика и техника полупроводников, 52:10 (2018), 1220–1227
-
Биосенсорные свойства нанопроволочных транзисторов с защитным слоем диэлектрика Al$_{2}$O$_{3}$, нанесенным методом плазменно-стимулированного атомно-слоевого осаждения
Физика и техника полупроводников, 50:5 (2016), 643–649
-
Зависимость подвижности электронов в режиме обогащения от их плотности в полностью обедняемых пленках кремний-на-изоляторе
Физика и техника полупроводников, 49:10 (2015), 1360–1366
-
Легирование кремния эрбием методом имплантации атомов отдачи
Письма в ЖТФ, 41:16 (2015), 52–60
-
Квантовые поправки для пороговых напряжений полностью обедняемых КНИ транзисторов с двумя независимыми затворами
Физика и техника полупроводников, 48:10 (2014), 1348–1353
-
Эффект гидростатического давления в процессе отжига пленок кремния на изоляторе, имплантированных большими дозами ионов водорода
Физика и техника полупроводников, 48:10 (2014), 1339–1343
-
Ионный синтез нанокристаллов InSb в захороненном слое SiO$_2$ структуры кремний-на-изоляторе
Физика и техника полупроводников, 48:9 (2014), 1228–1233
-
Кристаллизация пленок кремний-на-изоляторе, имплантированных большими дозами ионов водорода, под действием термических миллисекундных импульсов
Физика и техника полупроводников, 47:5 (2013), 591–597
-
Структуры кремний-на-изоляторе с азотированным захороненным слоем SiO$_2$: метод создания и свойства
Физика и техника полупроводников, 45:3 (2011), 335–342
-
Рост монокристаллического $\alpha\text{-Si}_{3}\text{N}_{4}$ в захороненных слоях, полученных низкоинтенсивной имплантацией ионов N$^{+}$ в нагретый кремний
Физика и техника полупроводников, 26:8 (1992), 1390–1393
-
Влияние отжига под анодным окислом на изменение состава поверхности и конверсию типа проводимости монокристаллов $p$-Cd$_{x}$Hg$_{1-x}$Te ($x\simeq0.2$)
Физика и техника полупроводников, 26:2 (1992), 310–317
-
Фазовый переход кристалл–аморфное состояние в сильно легированном кремнии
Физика твердого тела, 28:10 (1986), 3134–3136
-
Леонид Степанович Смирнов к 80-летию со дня рождения (1932–2011)
Физика и техника полупроводников, 46:6 (2012), 861–863
© , 2026