Особенности абразивной и химической обработки поверхности полупроводников / В. А. Перевощиков, В. Д. Скупов. - Нижний Новгород : Изд-во Нижегородского ун-та, 1992. - 195 с.; ISBN 5-230-04179-X
Базовые технологии микро- и наноэлектроники : учеб. пос. для студ. спец. 210104 / В. М. Воротынцев, В. А. Перевощиков, В. Д. Скупов; - Нижний Новгород : Нижегородский гос. технический ун-т, 2006. - 356 с.; ISBN 5-93272-364-5
