Ширяев Сергей Юрьевич

Публикации в базе данных Math-Net.Ru

1. Синтез монокристаллического карбида кремния с помощью одношаговой техники высокоинтенсивного ионного легирования
   
   Физика и техника полупроводников, 20:1 (1986),  149–152
2. Кристаллизация и эффект отжига макродефектов в процессе высокоинтенсивной ионной имплантации полупроводниковых кристаллов
   
   Письма в ЖТФ, 11:18 (1985),  1110–1113