Мяконьких Андрей Валерьевич

Публикации в базе данных Math-Net.Ru

1. Оптимизация процессов ионного травления в микро- и наноэлектронике путем воздействия на энергетический спектр ионов
   
   ЖТФ, 96:1 (2026),  67–80
2. Термостабильный сегнетоэлектрик HfO$_2$ : Al$_2$O$_3$ (10:1) в SOI и SOS гетероструктурах после RTA обработок и утончения кремния окислением
   
   Письма в ЖЭТФ, 121:12 (2025),  945–951
3. Киральные метаповерхности на основе массивов Co наноспиралей, получаемые методом наклонного напыления
   
   Физика твердого тела, 66:7 (2024),  1062–1067
4. Управление магнитной анизотропией и оптическими характеристиками наноструктурированных пленок кобальта методом наклонного напыления
   
   Физика твердого тела, 65:6 (2023),  996–1001
5. Деградация значения сопротивления в низкоомном состоянии в структуре на основе HfO$_2$/HfO$_X$N$_Y$
   
   Физика и техника полупроводников, 57:6 (2023),  451–454
6. Исследование индуктивно-связанной плазмы пониженного давления CF$_{3}$Br методами зонда Ленгмюра и оптической эмиссионной спектроскопии
   
   Письма в ЖТФ, 47:2 (2021),  52–54
7. Влияние размерного эффекта на кластерную ионную эмиссию наноструктур кремния
   
   Письма в ЖЭТФ, 111:8 (2020),  531–535
8. Аналитическая модель атомно-слоевого осаждения пленок на 3D-структурах с высоким аспектным отношением
   
   ЖТФ, 88:2 (2018),  243–250
9. Дозовая зависимость формирования нанокристаллов в имплантированных гелием слоях кремния
   
   Письма в ЖТФ, 44:7 (2018),  39–46
10. Биосенсорные свойства нанопроволочных транзисторов с защитным слоем диэлектрика Al$_{2}$O$_{3}$, нанесенным методом плазменно-стимулированного атомно-слоевого осаждения
    
    Физика и техника полупроводников, 50:5 (2016),  643–649