Лихарев Сергей Константинович

Публикации в базе данных Math-Net.Ru

1. Реконструкция глубинной структуры микротрещин в кремнии с помощью метода томографии наведенного тока в растровом электронном микроскопе
   
   Физика и техника полупроводников, 26:12 (1992),  2076–2082
2. Микротомография полупроводниковых структур в режиме наведенного тока
   
   Докл. АН СССР, 307:4 (1989),  840–844