RUS
ENG
Полная версия
ПЕРСОНАЛИИ
Анциферов Павел Станиславович
Публикации в базе данных Math-Net.Ru
Демпфированный вакуумный разряд как вариант источника ЭУФ излучения для литографии
ЖТФ
,
95
:7 (2025),
1297–1302
Методика определения коэффициента отражения в скользящем падении при использовании одноканальной схемы измерения
Оптика и спектроскопия
,
131
:8 (2023),
1074–1079
Плазменные источники экстремального ультрафиолетового излучения для литографии и сопутствующих технологических процессов (к 50-летию Института спектроскопии РАН)
УФН
,
189
:3 (2019),
323–334
ВУФ излучение ксенона в быстром коническом разряде
Оптика и спектроскопия
,
125
:4 (2018),
457–462
©
МИАН
, 2026