Завадский Сергей Михайлович

Публикации в базе данных Math-Net.Ru

1. Влияние способа подачи газов в камеру на процессы реактивного магнетронного распыления Ti–Al составной мишени
   
   ЖТФ, 93:3 (2023),  409–416
2. Влияние степени легирования алюминием на свойства пленок оксида титана-алюминия
   
   ПФМТ, 2023, № 2(55),  74–82
3. Особенности реактивного магнетронного нанесения пленок оксида тантала при различных способах подачи газа в камеру
   
   ПФМТ, 2022, № 3(52),  97–104
4. Структура и механические свойства кремний-углеродных покрытий, легированных хромом
   
   ПФМТ, 2022, № 2(51),  52–57
5. Сегнетоэлектрические свойства пленок танталата стронция-висмута, нанесенных методом ВЧ магнетронного распыления
   
   ПФМТ, 2018, № 1(34),  33–37
6. Сегнетоэлектрические свойства пленок легированного ниобием танталата стронция-висмута
   
   Физика твердого тела, 58:1 (2016),  51–55
7. Формирование пленок нитрида титана методом реактивного магнетронного распыления при пониженном давлении
   
   ПФМТ, 2016, № 2(27),  12–17
8. Совместное функционирование магнетронной распылительной системы и ионного источника на основе торцевого холловского ускорителя
   
   ЖТФ, 84:9 (2014),  66–73
9. Синтез пленок титаната стронция золь–гель методом и перспективы их применения в электронной технике
   
   Физика и техника полупроводников, 48:12 (2014),  1724–1726
10. Электрические и оптические свойства пленок оксида цинка, нанесенных методом ионно-лучевого распыления оксидной мишени
    
    Физика и техника полупроводников, 48:9 (2014),  1274–1279