Публикации в базе данных Math-Net.Ru
-
Исследование свойств филаментов в структурах на основе HfO$_2$ при помощи атомно-силовой микроскопии с измерением проводимости
ЖТФ, 93:8 (2023), 1143–1151
-
Деградация значения сопротивления в низкоомном состоянии в структуре на основе HfO$_2$/HfO$_X$N$_Y$
Физика и техника полупроводников, 57:6 (2023), 451–454
-
Nanophotonic structure formation by dry e-beam etching of the resist: resolution limitation origins
Компьютерная оптика, 41:4 (2017), 499–503
-
Некоторые особенности нового метода формирования микрорельефа путём прямого электронно-лучевого травления резиста
Компьютерная оптика, 39:2 (2015), 204–210
-
Формирование затворных структур типа W/HfO$_2$/Si магнетронным распылением in situ и быстрым термическим отжигом
ЖТФ, 84:5 (2014), 82–87
© , 2026