|
|
Публикации в базе данных Math-Net.Ru
-
Термостабильный сегнетоэлектрик HfO$_2$ : Al$_2$O$_3$ (10:1) в SOI и SOS гетероструктурах после RTA обработок и утончения кремния окислением
Письма в ЖЭТФ, 121:12 (2025), 945–951
-
Деградация значения сопротивления в низкоомном состоянии в структуре на основе HfO$_2$/HfO$_X$N$_Y$
Физика и техника полупроводников, 57:6 (2023), 451–454
-
Атомно-слоевое осаждение тонких пленок на 3$D$-наноструктуры: влияние наклона стенок и аспектного отношения тренчей
ЖТФ, 88:10 (2018), 1573–1580
-
Аналитическая модель атомно-слоевого осаждения тонких пленок на стенки цилиндрических отверстий с высоким аспектным отношением
ЖТФ, 88:8 (2018), 1264–1272
-
Аналитическая модель атомно-слоевого осаждения пленок на 3D-структурах с высоким аспектным отношением
ЖТФ, 88:2 (2018), 243–250
-
Биосенсорные свойства нанопроволочных транзисторов с защитным слоем диэлектрика Al$_{2}$O$_{3}$, нанесенным методом плазменно-стимулированного атомно-слоевого осаждения
Физика и техника полупроводников, 50:5 (2016), 643–649
© , 2026