RUS
ENG
Full version
PEOPLE
Zakharina Mariya Yur'evna
Publications in Math-Net.Ru
Формирование перспективных для электронно-лучевой и экстремально-ультрафиолетовой нанолитографии тонкопленочных резистивных материалов на основе оловоорганических оксокластеров
Zhurnal Tekhnicheskoi Fiziki
,
96
:2 (2026),
383–394
©
Steklov Math. Inst. of RAS
, 2026
