RUS
ENG
Full version
PEOPLE
Khalilullin Ramis Rinatovich
Publications in Math-Net.Ru
Оптимизация процессов ионного травления в микро- и наноэлектронике путем воздействия на энергетический спектр ионов
Zhurnal Tekhnicheskoi Fiziki
,
96
:1 (2026),
67–80
©
Steklov Math. Inst. of RAS
, 2026
