Kuzmenko Vitalii Olegovich

Publications in Math-Net.Ru

1. Оптимизация процессов ионного травления в микро- и наноэлектронике путем воздействия на энергетический спектр ионов
   
   Zhurnal Tekhnicheskoi Fiziki, 96:1 (2026),  67–80
2. Low-pressure inductively coupled CF$_{3}$Br plasma studied by the Langmuir probe and optical emission spectroscopy techniques
   
   Pisma v Zhurnal Tekhnicheskoi Fiziki, 47:2 (2021),  52–54