Osobennosti abrazivnoi i khimicheskoi obrabotki poverkhnosti poluprovodnikov / V. A. Perevoschikov, V. D. Skupov. - Nizhnii Novgorod : Izd-vo Nizhegorodskogo un-ta, 1992. - 195 s.; ISBN 5-230-04179-X
Bazovye tekhnologii mikro- i nanoelektroniki : ucheb. pos. dlya stud. spets. 210104 / V. M. Vorotyntsev, V. A. Perevoschikov, V. D. Skupov; - Nizhnii Novgorod : Nizhegorodskii gos. tekhnicheskii un-t, 2006. - 356 s.; ISBN 5-93272-364-5
