RUS
ENG
Full version
PEOPLE
Likharev Sergei Konstantinovich
Publications in Math-Net.Ru
Реконструкция глубинной структуры микротрещин в кремнии с помощью метода томографии наведенного тока в растровом электронном микроскопе
Fizika i Tekhnika Poluprovodnikov
,
26
:12 (1992),
2076–2082
Microtomography of semiconductor structure in the regime of induced current
Dokl. Akad. Nauk SSSR
,
307
:4 (1989),
840–844
©
Steklov Math. Inst. of RAS
, 2026