In situ исследование кинетики кристаллизации покрытий Al$_2$O$_3$, осажденных из изопропилата алюминия, при термическом отжиге

A. S. Mitulinsky, A. V. Gaidaichuk, S. P. Zenkin, A. V. Pirozhkov, S. A. Linnik

Tomsk Polytechnic University

Received: 19.09.2025
Revised: 29.10.2025
Accepted: 18.11.2025

DOI: 10.61011/PJTF.2026.06.62455.20503