V. N. Bessolov, M. E. Kompan, E. V. Konenkova, Sh. Sh. Sharofidinov, A. V. Solomnikova, M. P. Scheglov, “Полуполярный нитрид алюминия: эпитаксия объемного материала на наноструктурированной кремниевой подложке”, Pisma v Zhurnal Tekhnicheskoi Fiziki, 2026, Volume 52, Issue 4,Pages <nobr>25

Полуполярный нитрид алюминия: эпитаксия объемного материала на наноструктурированной кремниевой подложке

V. N. Bessolov^a, M. E. Kompan^a, E. V. Konenkova^a, Sh. Sh. Sharofidinov^a, A. V. Solomnikova^b, M. P. Scheglov^a

^a Ioffe Institute, St. Petersburg
^b Saint Petersburg Electrotechnical University "LETI"

Received: 16.09.2025
Revised: 16.09.2025
Accepted: 15.10.2025

DOI: 10.61011/PJTF.2026.04.62321.20500