V. V. Vybornov, I. E. Bondarenko, S. K. Likharev, V. P. Trifonenkov, “Реконструкция глубинной структуры микротрещин в кремнии с помощью метода томографии наведенного тока в растровом электронном микроскопе”, Fizika i Tekhnika Poluprovodnikov, 1992, Volume 26, Issue 12,Pages <nobr>2076

Реконструкция глубинной структуры микротрещин в кремнии с помощью метода томографии наведенного тока в растровом электронном микроскопе

V. V. Vybornov^a, I. E. Bondarenko^b, S. K. Likharev, V. P. Trifonenkov^c

^a Lomonosov Moscow State University
^b Institute of Microelectronics Technology and High-Purity Materials RAS
^c Moscow Engineering Physics Institute

Received: 28.05.1992
Accepted: 08.06.1992