RUS  ENG
Full version
JOURNALS // Fizika i Tekhnika Poluprovodnikov // Archive

Fizika i Tekhnika Poluprovodnikov, 1991 Volume 25, Issue 11, Pages 1952–1956 (Mi phts4501)

Определение профиля концентрации марганца и никеля, имплантированных в кремнии

M. K. Bakhadyrkhanov, M. S. Mirkamilova, V. A. Shustrov




© Steklov Math. Inst. of RAS, 2026