RUS
ENG
Full version
JOURNALS
// Fizika i Tekhnika Poluprovodnikov
// Archive
Fizika i Tekhnika Poluprovodnikov,
1991
Volume 25,
Issue 11,
Pages
1952–1956
(Mi phts4501)
Определение профиля концентрации марганца и никеля, имплантированных в кремнии
M. K. Bakhadyrkhanov
, M. S. Mirkamilova
, V. A. Shustrov
Fulltext:
PDF file (642 kB)
©
Steklov Math. Inst. of RAS
, 2026