RUS
ENG
Full version
JOURNALS
// Fizika i Tekhnika Poluprovodnikov
// Archive
Fizika i Tekhnika Poluprovodnikov,
1991
Volume 25,
Issue 6,
Pages
990–996
(Mi phts4333)
Анализ диффузионных профилей водорода, образующихся при гидрогенизации полупроводниковых образцов
N. S. Rytova
Fulltext:
PDF file (714 kB)
©
Steklov Math. Inst. of RAS
, 2026