RUS  ENG
Full version
JOURNALS // Fizika i Tekhnika Poluprovodnikov // Archive

Fizika i Tekhnika Poluprovodnikov, 1991 Volume 25, Issue 3, Pages 553–555 (Mi phts4247)

Short Notes

Оптимизация условий облучения при ядерном легировании полупроводников

N. A. Ivaniv, V. V. Zablotsky




© Steklov Math. Inst. of RAS, 2026