Влияние электронно-лучевой обработки на контакт титан$-$кремний

A. M. Chaplanov, A. N. Shibko, A. V. Lazarenko, E. S. Chebukov, V. I. Engelko, A. L. Bortnyanskii, M. L. Klopenkov, M. V. Pavlovets