Определение электрофизических параметров тонких гетероэпитаксиальных слоев в растровом электронном микроскопе (эксперимент)

S. G. Konnikov, O. V. Salata, V. A. Solovev, M. A. Sinicin, V. E. Umanskii, D. A. Vinokurov