RUS
ENG
Full version
JOURNALS
// Fizika i Tekhnika Poluprovodnikov
// Archive
Fizika i Tekhnika Poluprovodnikov,
1989
Volume 23,
Issue 6,
Pages
1076–1079
(Mi phts3407)
Особенности отжига дивакансии в кремнии, содержащем разупорядоченные области
I. V. Antonova
,
A. V. Vasil'ev
,
V. I. Panov
, S. S. Shaimeev
Fulltext:
PDF file (587 kB)
©
Steklov Math. Inst. of RAS
, 2026