RUS  ENG
Full version
JOURNALS // Fizika i Tekhnika Poluprovodnikov // Archive

Fizika i Tekhnika Poluprovodnikov, 1989 Volume 23, Issue 6, Pages 1076–1079 (Mi phts3407)

Особенности отжига дивакансии в кремнии, содержащем разупорядоченные области

I. V. Antonova, A. V. Vasil'ev, V. I. Panov, S. S. Shaimeev




© Steklov Math. Inst. of RAS, 2026