Лазерный отжиг имплантрованного GaAs. Роль имплантационных дефектов

V. N. Yakimkin, V. V. Ushakov, A. A. Gippius, V. S. Vavilov, A. E. Sedelnikov, V. A. Dravin, V. V. Chernyaev, N. Yu. Ponomarev