RUS
ENG
Full version
JOURNALS
// Fizika i Tekhnika Poluprovodnikov
// Archive
Fizika i Tekhnika Poluprovodnikov,
1983
Volume 17,
Issue 12,
Pages
2152–2155
(Mi phts2634)
Емкостная спектроскопия глубоких уровней, возникающих в кремнии после диффузии серы
A. A. Lebedev
,
A. A. Lebedev
Fulltext:
PDF file (421 kB)
©
Steklov Math. Inst. of RAS
, 2026