N. P. Morozov, D. I. Tetelbaum, “Глубокое проникновение радиационных дефектов из ионно-имплантированного слоя в объем полупроводника”, Fizika i Tekhnika Poluprovodnikov, 1983, Volume 17, Issue 5,Pages <nobr>838

JOURNALS // Fizika i Tekhnika Poluprovodnikov // Archive

Fizika i Tekhnika Poluprovodnikov, 1983 Volume 17, Issue 5, Pages 838–842 (Mi phts2291)

Глубокое проникновение радиационных дефектов из ионно-имплантированного слоя в объем полупроводника

N. P. Morozov, D. I. Tetelbaum