V. E. Borisenko, “Образование <nobr>$n$</nobr>-слоев в кремнии при бомбардировке ионами кислорода”, Fizika i Tekhnika Poluprovodnikov, 1983, Volume 17, Issue 1,Pages <nobr>169

RUS ENG

JOURNALS // Fizika i Tekhnika Poluprovodnikov // Archive

Fizika i Tekhnika Poluprovodnikov, 1983 Volume 17, Issue 1, Pages 169–170 (Mi phts2128)

Short Notes

Образование $n$-слоев в кремнии при бомбардировке ионами кислорода

V. E. Borisenko