Plasma

Оптимизация процессов ионного травления в микро- и наноэлектронике путем воздействия на энергетический спектр ионов

R. R. Khalilullin, A. V. Myakon'kikh, V. O. Kuzmenko

Valiev Institute of Physics and Technology of Russian Academy of Sciences

Received: 28.04.2025
Revised: 18.07.2025
Accepted: 30.07.2025

DOI: 10.61011/JTF.2026.01.62038.86-25