N. A. Makarova, V. S. Terentyev, I. D. Vatnik, “Цилиндрические микрорезонаторы из кремния и нитрида кремния, изготовленные из оптических волокон методом магнетронного напыления”, Pis'ma v Zh. Èksper. Teoret. Fiz., 2025, Volume 122, Issue 11,Pages <nobr>763

METHODS OF PHYSICAL INVESTIGATION

Цилиндрические микрорезонаторы из кремния и нитрида кремния, изготовленные из оптических волокон методом магнетронного напыления

N. A. Makarova^a, V. S. Terentyev^b, I. D. Vatnik^ab

^a Novosibirsk State University
^b Institute of Automation and Electrometry, Siberian Branch of Russian Academy of Sciences, Novosibirsk

Received: 19.09.2025
Revised: 21.10.2025
Accepted: 31.10.2025

DOI: 10.7868/S3034576625120093