Semiconductors

Влияние нейтронно-легированного изотопа фосфора на микротвердость монокристаллического кремния

Sh. Makhkamov^a, M. Yu. Tashmetov^a, M. N. Erdonov^a, N. B. Ismatov^a, Sh. A. Makhmudov^a, Sh. M. Nazarmamatov^a, Kh. M. Kholmedov<sup>b

a</sup> Institute of Nuclear Physics, Academy of Sciences of Uzbekistan, Tashkent
^b Tashkent University of Information Technology

Received: 15.11.2025
Revised: 01.12.2025
Accepted: 02.12.2025

DOI: 10.61011/FTT.2025.12.62413.325-25