Semiconductors

Влияние кислорода и температуры подложки на электрические свойства тонких пленок ZnO, полученных ионно-лучевым напылением

V. A. Makagonov, K. S. Gabriel’s, Yu. E. Kalinin, A. Yu. Lopatin, V. A. Okorochkov

Voronezh State Technical University

Received: 29.10.2025
Revised: 07.12.2025
Accepted: 10.12.2025

DOI: 10.61011/FTT.2025.12.62412.304-25